Zerst?rungsfreie abl?sbare, ultradünne Trennschichten mit Schichtdicken unterhalb von 100nm für eine zuverl?ssige Entformung und Nachbearbeitung von Mikroformteilen
Overview
Key Facts
- Grant Number:
- 01IF22597N
- Research profile area:
- Nachhaltige Werkstoffe, Prozesse und Produkte
- Project type:
- Forschung
- Project duration:
- 10/2022 - 03/2025
- Contribution to sustainability:
- Quality Education, Industry, innovation, and infrastructure
- Funded by:
- Bundesministerium für Wirtschaft und Energie (BMWE)
